技术参数
选择更适合的那款
SD15.X
X 线性运动
SD30.X
X 线性运动
➨ 版本定位
标准版本
大气环境
✔
✔
.HV, 高真空版本
优于 2E-7 mbar
✔
✔
.UHV, 超高真空版本
优于 2E-11 mbar
✔
✔
.NM, 完全无磁版本
完全无磁
✔
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.HV.NM, 高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 高真空
✔
✔
.UHV.NM, 超高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 超高真空
✔
✔
➨ 基础信息
1运动方向 & 行程 (闭环)
15 μm
30 μm
2尺寸
外形尺寸
62 mm × 40 mm × 13.5 mm
80 mm × 40 mm × 13.5 mm
3主体材料
标准版本
.HV 版本
.UHV 版本
.NM 版本
铝合金, 钢; 250 g
铝合金, 钢; 250 g
铝合金, 钢; 250 g
铝合金, 钛合金; 220 g
铝合金, 钢; 180 g
铝合金, 钢; 180 g
铝合金, 钢; 180 g
铝合金, 钛合金; 160 g
➨ 技术参数
4线性度误差
0.03%
0.03%
5重复定位精度
2 nm
4 nm
6运动分辨率
闭环
开环
0.2 nm
0.1 nm
0.5 nm
0.2 nm
7刚性
28 N/μm
18 N/μm
8共振频率 1
零负载
300 g 负载
3.3 kHz
1 kHz
2.2 kHz
0.625 kHz
9最大负载
300 g
300 g
10位置传感器
电容式位置传感
Farady 系列产品
➨ 安装 & 使用
11可用孔位
SD15.X
台面·用户螺纹孔
4 pcs – M2.5 × 5.0
26 mm × 18 mm
SD15.X
SD15.X
台面·安装孔
4 pcs – Φ 3.5
52 mm × 30 mm
SD15.X
SD15.X
台面·定位销
2 pcs – Φ 2.8
25 mm – 2
SD15.X
SD30.X
台面·用户螺纹孔
4 pcs – M2.5 × 5.0
44 mm × 18 mm
2 pcs – M2.5 × 5.0
18 mm – 2
SD30.X
SD30.X
台面·安装孔
4 pcs – Φ 2.8
50 mm × 30 mm
SD30.X
SD30.X
台面·定位销
4 pcs – Φ 2.8
25 mm – 2
SD30.X
12线缆 & 接头
默认
.UHV 版本
屏蔽线缆, D-Sub 7W2
屏蔽线缆, SMA
13控制器规格
MC-Archimedes.N 系列
1. 共振频率浮动范围 ±20%;
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