极低温纳米级运动 · 控制器
“MC-ArchimedesLT.Ultra”
针对低温闭环压电扫描台设计的控制器
闭环扫描台控制器·MC-ArchimedesLT.Ultra
三通道同步闭环控制，高速采集
亚纳米级位置分辨率，高速数据采集
EtherNET 接口
千兆网口, 支持 50 kSa/s
通道间并行数据传输
USB 3.0 接口
支持 50 kSa/s 数据传输
多通道间同步闭环控制
Sensor IN 三同轴输入接口
传感器信号无损传输
高精度采集
Analog IN/OUT
模拟输入/输出接口
支持外部信号源对扫描台进行
闭环控制
0.5 nm
亚纳米级位置分辨率
50 kSa/s
超高的采样率和数据传输速率
闭环控制
通道间同步闭环控制
0~10 V / ±5 V / ±10 V
模拟输入/输出范围可选
多种通讯接口
支持 EtherNET/EtherCAT/USB3.0
性能·亚纳米级空间分辨率
优于0.5 nm的空间分辨率
实测数据源自控制器采集, Scanner35-z.Ultra以1 nm步长进行闭环运动, 1 nm运动台阶清晰可见, 噪声RMS值 ~ 0.4 nm
性能·亚纳米级空间分辨率
优于5 nm的双向重复定位精度
实测数据源自第三方激光干涉仪, Scanner35-z.Ultra以3 μm步长在30 μm行程内进行往复闭环运动, 重复定位点最大偏差落在± 5 nm范围内, RMS值 < 5 nm
“MC-ArchimedesLT” 阿基米德·低温系列控制器近搭配多场科技-低温闭环扫描台1使用, 其作为扫描台系统不可分割的部分, 技术参数已经糅合进扫描台产品的技术参数中, 不再单独展示。
1. 低温闭环扫描台产品包括系列: Scanner25-x.Ultra, Scanner25-z.Ultra, Scanner35-xy.Ultra, Scanner35-z.Ultra
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