Free6D 系列·并联结构
“6自由度
彻底更自在”
并联结构
同时保证自由度和精度的最好选择
技术参数
选择更适合的那款
Free6D.3-2.070
并联六轴运动
Free6D.3-2.150
并联六轴运动
➨ 版本定位
标准版本
大气环境
✔
✔
.HV, 高真空版本
优于 2E-7 mbar
✔
✔
.UHV, 超高真空版本
优于 2E-11 mbar
✔
✔
.NM, 完全无磁版本
完全无磁
✔
✔
.HV.NM, 高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 高真空
✔
✔
.UHV.NM, 超高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 超高真空
✔
✔
➨ 基础信息
1外形尺寸
原点位置
满行程运动
Φ 70 × 65 mm
Φ 85 × 75 mm
Φ 150 × 90 mm
Φ 155 × 100 mm
2主体材料
标准版本
.HV 版本
.UHV 版本
.NM 版本
铝合金, 钢; 400 g
铝合金, 钢; 400 g
铝合金, 钢; 400 g
纯 Ti, 陶瓷; 600 g
铝合金, 钢; 1.4 kg
铝合金, 钢; 1.4 kg
铝合金, 钢; 1.4 kg
纯 Ti, 陶瓷; 2.1 kg
3最大垂直负载
300 g
1 kg
➨ 技术参数
4中空孔径
N/A
Φ 40 mm
5运动行程
X
Y
Z
θX
θY
θZ
± 5 mm
± 5 mm
± 2.5 mm
± 16 °
± 13 °
± 26 °
± 10 mm
± 10 mm
± 5 mm
± 9 °
± 8 °
± 14 °
6单向重复定位精度
X
Y
Z
θX
θY
θZ
± 0.25 μm
± 0.25 μm
± 0.15 μm
± 8 μrad
± 8 μrad
± 8 μrad
± 0.25 μm
± 0.25 μm
± 0.15 μm
± 5 μrad
± 5 μrad
± 5 μrad
7最小步伐
X
Y
Z
θX
θY
θZ
10 nm
10 nm
10 nm
1 μrad
1 μrad
1 μrad
10 nm
10 nm
10 nm
1 μrad
1 μrad
1 μrad
8位置传感器
种类
分辨率
光学位置传感器
2 nm
➨ 安装 & 使用
9可用孔位
Free6D.3-2.070
台面·定位销
3 pcs – Φ 2.0
Φ 28 × 3
底座·定位销
4 pcs – Φ 2.0
42 mm – 2
58 mm – 2
Free6D.3-2.150
台面·定位销
6 pcs – Φ 3.0
Φ 60 × 6
底座·定位销
8 pcs – Φ 3.0
125 mm × 30 mm
Free6D.3-2.070
台面·用户螺纹孔
3 pcs – M3 × 8
Φ 40 × 3
6 pcs – M2 × 8
20 mm – 2
底座·安装孔
2 pcs – Φ 6.6 × 5.0
50 mm – 2
Free6D.3-2.150
台面·用户螺纹孔
6 pcs – M4 × 4
Φ 80 × 6
12 pcs – M2 × 4
Φ 80 × 6
Φ 60 × 6
底座·安装孔
2 pcs – Φ 6.6 × 9.5
125 mm – 2
10线缆 & 接头
默认
.UHV 版本
屏蔽线缆,
D-Sub15
Kapton 漆包线,
D-Sub15 (PEEK)
11控制器
MC-Free6D
外形尺寸
200 mm × 200 mm × 140 mm
质量
2.7 kg
最大工作功率
100 W
技术参数
选择更适合的那款
Free3D.ZTxTy.150
快速 & 大行程，
并联三轴运动
➨ 版本定位
标准版本
大气环境
✔
✔
.HV, 高真空版本
优于 2E-7 mbar
✔
✔
.UHV, 超高真空版本
优于 2E-11 mbar
✔
✔
.NM, 完全无磁版本
完全无磁
✔
✔
.HV.NM, 高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 高真空
✔
✔
.UHV.NM, 超高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 超高真空
✔
✔
➨ 基础信息
1外形尺寸
原点位置
满行程运动
原点位置
满行程运动
Φ 150 × 80 mm
Φ 150 × 90 mm
2主体材料
标准版本
.HV 版本
.UHV 版本
.NM 版本
铝合金, 钢; 800 g
铝合金, 钢; 800 g
铝合金, 钢; 800 g
纯 Ti, 陶瓷; 460 g
铝合金, 钢; 1000 g
铝合金, 钢; 1000 g
铝合金, 钢; 1000 g
纯 Ti, 陶瓷; 1300 g
➨ 技术参数
3最大垂直负载
2 kg (无磁版本750 g）
4中空孔径
60 mm
5运动行程
Z
θX
θY
± 5 mm
± 7 °
± 7 °
± 5 mm
± 7 °
± 7 °
6单向重复定位精度
Z
θX
θY
± 0.3 μm
± 5 μrad
± 5 μrad
± 0.3 μm
± 5 μrad
± 5 μrad
7最小步伐
Z
θX
θY
10 nm
1 μrad
1 μrad
10 nm
1 μrad
1 μrad
8位置传感器
种类
分辨率
光学位置传感器
2 nm
➨ 安装 & 使用
9可用孔位
Free3D.ZTxTy.150
台面·用户螺纹孔
6 pcs – M4 x 5
Φ 100 × 6
底座·安装孔
6 pcs – Φ 6.6 x 2.85
Φ 125 x 6
∠40°+∠80°间隔分布
Free3D.ZTxTy.150
台面·定位销
3 pcs – Φ 4.0
Φ 80 × 3
底座·定位销
3 pcs – Φ 6.0
Φ 100 × 3
10线缆 & 接头
默认
.UHV 版本
屏蔽线缆,
D-Sub15
Kapton 漆包线,
D-Sub15 (PEEK)
11控制器
MC-LuZhishen.3
外形尺寸
410 mm × 265 mm × 133.35 mm
410 mm × 265 mm × 133.35 mm
质量
2.7 kg
2.7 kg
最大工作功率
300 W
300 W
技术参数
选择更适合的那款
Free6D.Force.150
紧凑 & 大负载，
并联六轴运动
➨ 版本定位
标准版本
大气环境
✔
.HV, 高真空版本
优于 2E-7 mbar
✔
.UHV, 超高真空版本
优于 2E-11 mbar
✔
➨ 基础信息
1外形尺寸
原点位置
满行程运动
原点位置
满行程运动
Φ 150 x 94 mm
Φ 150 x 105 mm
2主体材料
标准版本
.HV 版本
.UHV 版本
铝合金, 钢; 3.5 kg
铝合金, 钢; 3.5 kg
铝合金, 钢; 3.5 kg
铝合金, 钢; 3.5 kg
铝合金, 钢; 3.5 kg
铝合金, 钢; 3.5 kg
3最大垂直负载
10 kg
➨ 技术参数
4中空孔径
Φ 50 mm
5运动行程
X,Y
Z
θX,θY
θZ
± 8 mm
± 3 mm
± 5 °
± 10 °
± 8 mm
± 3 mm
± 5 °
± 10 °
6单向重复定位精度
X,Y
Z
θX,θY
θZ
± 500 nm
± 250 nm
± 5 μrad
± 10 μrad
± 500 nm
± 250 nm
± 5 μrad
± 10 μrad
7最小步伐
X,Y
Z
θX,θY
θZ
50 nm
20 nm
0.5 μrad
1 μrad
50 nm
20 nm
0.5 μrad
1 μrad
8位置传感器
种类
分辨率
光学位置传感器
2 nm
➨ 安装 & 使用
9可用孔位
Free6D.Force.150
台面·用户螺纹孔
3 pcs – M6
Φ 65 × 3
3 pcs – M4
Φ 100 × 3
底座·安装孔
6 pcs – Φ 6.6 x 7.6
Φ 135 x 6
Free6D.Force.150
台面·定位销
3 pcs – Φ 4.0
Φ 80 × 3
底座·定位销
3 pcs – Φ 6.0
Φ 125 x 3
10线缆 & 接头
默认
.UHV 版本
屏蔽线缆,
D-Sub15
Kapton 漆包线,
D-Sub15 (PEEK)
11控制器
MC-LuZhishen.6
外形尺寸
440 mm x 430 mm x 133.35 mm
440 mm x 430 mm x 133.35 mm
质量
2.7 kg
2.7 kg
最大工作功率
600 W
600 W
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