超精密运动 / 短行程扫描台 – Carrier.S 系列
通孔型扫描台 · Carrier.S 系列
Z 轴运动方案
并联结构设计搭配电容闭环控制, 保证 Z 方向垂直运动准直性; 也有更高级版本可选 (添加 TxTy 摆动自由度)
Carrier.S · 通孔型扫描台
垂直运动, Z
Z 方向运动
Carrier.S · 通孔型扫描台
高级版·垂直运动, ZTxTy
主动姿态调整保证 Z 轴绝对准直
ZTxTy 三轴运动
通孔型扫描台 · Carrier.S 系列
XY 平面运动方案
并联结构设计结合电容闭环控制, 保证 XY 平面运动的正交性; 也有更高级版本可选 (添加 Rz 旋转自由度)
Carrier.S · 通孔型扫描台
平面运动, XY
XY 方向运动
Carrier.S · 通孔型扫描台
高级版·平面运动, XYRz
Rz 旋转,补偿因安装带来的旋转夹角
XYRz 三轴运动
通孔型扫描台 · Carrier.S 系列
XYZ 运动方案
并联结构搭配电容闭环控制,保证 XYZ 运动正交性; 也提供超薄版本供光学显微使用
Carrier.S · 通孔型扫描台
三轴运动, XYZ
XYZ 方向运动
Carrier.SL · 通孔型轻型扫描台
三轴运动, XYZ
更轻薄,适配光学显微成像
XYZ 方向运动
通孔型扫描台 · Carrier.S 系列
XYZTxTyRz 六自由度运动方案
扫描运动的终极解决方案,所有控制&机械设计的集大成者;快速、准确 & 完全姿态自由
Carrier.S100/200/300.6D.C
• 电容传感闭环控制,最高分辨率 1 nm
• 优于 10 nm 重复定位精度
• 100/200/300 μm 多行程可选
• 完全无磁,超高真空等特殊版本可选