超精密运动 / 短行程扫描台 – Carrier.S 系列

通孔型扫描台 · Carrier.S 系列

Z 轴运动方案

并联结构设计搭配电容闭环控制, 保证 Z 方向垂直运动准直性; 也有更高级版本可选 (添加 TxTy 摆动自由度)

Carrier.S · 通孔型扫描台

垂直运动, Z

Z 方向运动

Carrier.S · 通孔型扫描台

高级版·垂直运动, ZTxTy

主动姿态调整保证 Z 轴绝对准直

ZTxTy 三轴运动

Carrier.S100/200.Z.C

Carrier.S100/200.ZTxTy.C

• 电容传感闭环控制,1 nm 运动分辨率
• 80 mm 大通孔,5 kg 大负载
• 100/200 μm 多行程可选
• 完全无磁,超高真空等特殊版本可选

• 垂直运动,TxTy 两轴摇摆调节
• 电容闭环,运动分辨率 1 nm / 0.05 μrad
• 优于 10 nm 重复定位精度
• 完全无磁,超高真空等特殊版本可选

通孔型扫描台 · Carrier.S 系列

XY 平面运动方案

并联结构设计结合电容闭环控制, 保证 XY 平面运动的正交性; 也有更高级版本可选 (添加 Rz 旋转自由度)

Carrier.S · 通孔型扫描台

平面运动, XY

XY 方向运动

Carrier.S · 通孔型扫描台

高级版·平面运动, XYRz

Rz 旋转,补偿因安装带来的旋转夹角

XYRz 三轴运动

Carrier.S100/200.XY.C

Carrier.S100/200.XYRz.C

• 电容传感闭环控制,最高分辨率 1 nm
• 优于 10 nm 重复定位精度
• 100/200 μm 多行程可选
• 完全无磁,超高真空等特殊版本可选

• XY 水平高速运动,绕 Z 轴旋转设计
• 电容闭环,运动分辨率 1 nm / 0.3 μrad
• 100/200 μm 多行程可选
• 完全无磁,超高真空等特殊版本可选

通孔型扫描台 · Carrier.S 系列

XYZ 运动方案

并联结构搭配电容闭环控制,保证 XYZ 运动正交性; 也提供超薄版本供光学显微使用

Carrier.S · 通孔型扫描台

三轴运动, XYZ

XYZ 方向运动

Carrier.SL · 通孔型轻型扫描台

三轴运动, XYZ

更轻薄,适配光学显微成像

XYZ 方向运动

Carrier.S100/200/300.XYZ.C

Carrier.SL200.XY/XYZ.C

• 电容传感闭环控制,最高分辨率 1 nm
• 优于 10 nm 重复定位精度
• 100/200/300 μm 多行程可选
• 完全无磁,超高真空等特殊版本可选

• 三轴 XYZ 运动方向
• < 20 mm 高度,便于插入光学系统
• 电容传感闭环控制,最高分辨率 1 nm
• 优于 10 nm 重复定位精度

通孔型扫描台 · Carrier.S 系列

XYZTxTyRz 六自由度运动方案

扫描运动的终极解决方案,所有控制&机械设计的集大成者;快速、准确 & 完全姿态自由

Carrier.S100/200/300.6D.C

• 电容传感闭环控制,最高分辨率 1 nm
• 优于 10 nm 重复定位精度
• 100/200/300 μm 多行程可选
• 完全无磁,超高真空等特殊版本可选