技术参数
选择更适合的那款
Carrier.S100.XYZ
线性运动，三自由度
Carrier.S200.XYZ
线性运动，三自由度
Carrier.S300.XYZ
线性运动，三自由度
➨ 版本定位
标准版本
大气环境
✔
✔
✔
.HV, 高真空版本
优于 2E-7 mbar
✔
✔
✔
.UHV, 超高真空版本
优于 2E-11 mbar
✔
✔
✔
.NM, 完全无磁版本
完全无磁
✔
✔
✔
.HV.NM, 高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 高真空
✔
✔
✔
.UHV.NM, 超高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 超高真空
✔
✔
✔
➨ 基础信息
1运动方向 & 行程 (闭环)
X, Y, Z
100 μm
200 μm
300 μm
2尺寸
外形尺寸
中通孔径
150 mm × 150 mm × 30 mm
66 mm × 66 mm
3主体材料
标准版本
.HV 版本
.UHV 版本
.NM 版本
铝合金, 钢; 1.4 kg
铝合金, 钢; 1.4 kg
铝合金, 钢; 1.4 kg
铝合金, 钛合金; 1.3 kg
铝合金, 钢; 1.4 kg
铝合金, 钢; 1.4 kg
铝合金, 钢; 1.4 kg
铝合金, 钛合金; 1.3 kg
铝合金, 钢; 1.4 kg
铝合金, 钢; 1.4 kg
铝合金, 钢; 1.4 kg
铝合金, 钛合金; 1.3 kg
➨ 技术参数
4线性度误差
X, Y, Z
0.02 %
0.02 %
0.02 %
5重复定位精度
X, Y, Z
5 nm
5 nm
6 nm
6运动分辨率 (闭环)
X, Y, Z
1 nm
1 nm
2 nm
7运动分辨率 (开环)
X, Y, Z
0.2 nm
0.4 nm
0.6 nm
8共振频率 1 (0负载)
X, Y
Z
200 Hz
380 Hz
160 Hz
320 Hz
140 Hz
250 Hz
9共振频率 1 (0.5 kg 负载)
X, Y
Z
160 Hz
210 Hz
125 Hz
180 Hz
95 Hz
150 Hz
10共振频率 1 (2.5 kg 负载)
X, Y
Z
120 Hz
140 Hz
100 Hz
120 Hz
75 Hz
100 Hz
11最大负载
5 kg
5 kg
3 kg
12位置传感器
电容式位置传感
Farady 系列产品
➨ 安装 & 使用
13可用孔位
Carrier.S100.XYZ
台面·安装孔
4 pcs – Φ 6.4
125 mm × 125 mm
Carrier.S200.XYZ
台面·安装孔
4 pcs – Φ 6.4
125 mm × 125 mm
Carrier.S300.XYZ
台面·安装孔
4 pcs – Φ 6.4
125 mm × 125 mm
Carrier.S100.XYZ
台面·用户螺纹孔
8 pcs – M3 × 4
60 mm × 120 mm
8 pcs – M3 × 4
60 mm × 90 mm
4 pcs – M3 × 4
90 mm + 90 mm
4 pcs – M3 × 4
120 mm + 120 mm
Carrier.S200.XYZ
台面·用户螺纹孔
8 pcs – M3 × 4
60 mm × 120 mm
8 pcs – M3 × 4
60 mm × 90 mm
4 pcs – M3 × 4
90 mm + 90 mm
4 pcs – M3 × 4
120 mm + 120 mm
Carrier.S300.XYZ
台面·用户螺纹孔
8 pcs – M3 × 4
60 mm × 120 mm
8 pcs – M3 × 4
60 mm × 90 mm
4 pcs – M3 × 4
90 mm + 90 mm
4 pcs – M3 × 4
120 mm + 120 mm
14线缆 & 接头
默认
.UHV 版本
屏蔽线缆, D-Sub 7W2
屏蔽线缆, SMA
15控制器规格
MC-Archimedes.N 系列
1. 共振频率浮动范围 ±20%;
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