超精密运动 / 扫描台·短行程 – Carrier.S 系列

技术参数

选择更适合的那款

Carrier.S100.6D

XYZTxTyRz,六自由度

Carrier.S200.6D

XYZTxTyRz,六自由度

Carrier.S300.6D

XYZTxTyRz,六自由度

➨    版本定位

标准版本

大气环境

.HV, 高真空版本

优于 2E-7 mbar

.UHV, 超高真空版本

优于 2E-11 mbar

.NM, 完全无磁版本

完全无磁

.HV.NM, 高真空&完全无磁版本

完全无磁 & 高真空

.UHV.NM, 超高真空&完全无磁版本

完全无磁 & 超高真空

➨    基础信息

1运动方向 & 行程 (闭环)

X, Y, Z

Tx, Ty, Rz

100 μm

± 0.5 mrad

200 μm

± 1 mrad

300 μm

± 2 mrad

2尺寸

外形尺寸

中通孔径

150 mm × 150 mm × 30 mm

66 mm × 66 mm

3主体材料

标准版本

.HV 版本

.UHV 版本

.NM 版本

铝合金, 钢; 1.6 kg

铝合金, 钢; 1.6 kg

铝合金, 钢; 1.6 kg

铝合金, 钛合金; 1.5 kg

铝合金, 钢; 1.6 kg

铝合金, 钢; 1.6 kg

铝合金, 钢; 1.6 kg

铝合金, 钛合金; 1.5 kg

铝合金, 钢; 1.6 kg

铝合金, 钢; 1.6 kg

铝合金, 钢; 1.6 kg

铝合金, 钛合金; 1.5 kg

➨    技术参数

4线性度误差

X, Y, Z

Tx, Ty, Rz

0.02 %

0.1 %

0.02 %

0.1 %

0.02 %

0.1 %

5重复定位精度

X, Y, Z

Tx, Ty, Rz

6 nm

0.2 μrad

6 nm

0.2 μrad

8 nm

0.2 μrad

6运动分辨率 (闭环)

X, Y, Z

Tx, Ty, Rz

1 nm

0.1 μrad

2 nm

0.1 μrad

2 nm

0.15 μrad

7共振频率 1 (0负载)

X, Y

Z

190 Hz

380 Hz

150 Hz

300 Hz

140 Hz

240 Hz

8共振频率 1 (0.5 kg 负载)

X, Y

Z

150 Hz

200 Hz

120 Hz

160 Hz

90 Hz

140 Hz

9共振频率 1 (2.5 kg 负载)

X, Y

Z

110 Hz

140 Hz

100 Hz

110 Hz

75 Hz

100 Hz

10最大负载

5 kg

5 kg

3 kg

11位置传感器

电容式位置传感
Farady 系列产品

➨    安装 & 使用

12可用孔位

Carrier.S100.6D

台面·安装孔

4 pcs – Φ 6.4
125 mm × 125 mm

Carrier.S200.6D

台面·安装孔

4 pcs – Φ 6.4
125 mm × 125 mm

Carrier.S300.6D

台面·安装孔

4 pcs – Φ 6.4
125 mm × 125 mm

Carrier.S100.6D

台面·用户螺纹孔

8 pcs – M3 × 4
60 mm × 120 mm

8 pcs – M3 × 4
60 mm × 90 mm

4 pcs – M3 × 4
90 mm + 90 mm

4 pcs – M3 × 4
120 mm + 120 mm

Carrier.S200.6D

台面·用户螺纹孔

8 pcs – M3 × 4
60 mm × 120 mm

8 pcs – M3 × 4
60 mm × 90 mm

4 pcs – M3 × 4
90 mm + 90 mm

4 pcs – M3 × 4
120 mm + 120 mm

Carrier.S300.6D

台面·用户螺纹孔

8 pcs – M3 × 4
60 mm × 120 mm

8 pcs – M3 × 4
60 mm × 90 mm

4 pcs – M3 × 4
90 mm + 90 mm

4 pcs – M3 × 4
120 mm + 120 mm

13线缆 & 接头

默认

.UHV 版本

屏蔽线缆, D-Sub 7W2

屏蔽线缆, SMA

14控制器规格

MC-Archimedes.N 系列

1. 共振频率浮动范围 ±20%;

产品资料

下载列表

产品声明

2D / 3D 文件

Carrier.S100.6D

.STEP

2025 / 06 / 16

Carrier.S200.6D

.STEP

2025 / 06 / 16

Carrier.S300.6D

.STEP

2025 / 06 / 16

规格参数

Carrier.S 系列产品手册

.pdf

室温压电运动系列手册

.pdf

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