技术参数
选择更适合的那款
Carrier.S100.6D
XYZTxTyRz,六自由度
Carrier.S200.6D
XYZTxTyRz,六自由度
Carrier.S300.6D
XYZTxTyRz,六自由度
➨ 版本定位
标准版本
大气环境
✔
✔
✔
.HV, 高真空版本
优于 2E-7 mbar
✔
✔
✔
.UHV, 超高真空版本
优于 2E-11 mbar
✔
✔
✔
.NM, 完全无磁版本
完全无磁
✔
✔
✔
.HV.NM, 高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 高真空
✔
✔
✔
.UHV.NM, 超高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 超高真空
✔
✔
✔
➨ 基础信息
1运动方向 & 行程 (闭环)
X, Y, Z
Tx, Ty, Rz
100 μm
± 0.5 mrad
200 μm
± 1 mrad
300 μm
± 2 mrad
2尺寸
外形尺寸
中通孔径
150 mm × 150 mm × 30 mm
66 mm × 66 mm
3主体材料
标准版本
.HV 版本
.UHV 版本
.NM 版本
铝合金, 钢; 1.6 kg
铝合金, 钢; 1.6 kg
铝合金, 钢; 1.6 kg
铝合金, 钛合金; 1.5 kg
铝合金, 钢; 1.6 kg
铝合金, 钢; 1.6 kg
铝合金, 钢; 1.6 kg
铝合金, 钛合金; 1.5 kg
铝合金, 钢; 1.6 kg
铝合金, 钢; 1.6 kg
铝合金, 钢; 1.6 kg
铝合金, 钛合金; 1.5 kg
➨ 技术参数
4线性度误差
X, Y, Z
Tx, Ty, Rz
0.02 %
0.1 %
0.02 %
0.1 %
0.02 %
0.1 %
5重复定位精度
X, Y, Z
Tx, Ty, Rz
6 nm
0.2 μrad
6 nm
0.2 μrad
8 nm
0.2 μrad
6运动分辨率 (闭环)
X, Y, Z
Tx, Ty, Rz
1 nm
0.1 μrad
2 nm
0.1 μrad
2 nm
0.15 μrad
7共振频率 1 (0负载)
X, Y
Z
190 Hz
380 Hz
150 Hz
300 Hz
140 Hz
240 Hz
8共振频率 1 (0.5 kg 负载)
X, Y
Z
150 Hz
200 Hz
120 Hz
160 Hz
90 Hz
140 Hz
9共振频率 1 (2.5 kg 负载)
X, Y
Z
110 Hz
140 Hz
100 Hz
110 Hz
75 Hz
100 Hz
10最大负载
5 kg
5 kg
3 kg
11位置传感器
电容式位置传感
Farady 系列产品
➨ 安装 & 使用
12可用孔位
Carrier.S100.6D
台面·安装孔
4 pcs – Φ 6.4
125 mm × 125 mm
Carrier.S200.6D
台面·安装孔
4 pcs – Φ 6.4
125 mm × 125 mm
Carrier.S300.6D
台面·安装孔
4 pcs – Φ 6.4
125 mm × 125 mm
Carrier.S100.6D
台面·用户螺纹孔
8 pcs – M3 × 4
60 mm × 120 mm
8 pcs – M3 × 4
60 mm × 90 mm
4 pcs – M3 × 4
90 mm + 90 mm
4 pcs – M3 × 4
120 mm + 120 mm
Carrier.S200.6D
台面·用户螺纹孔
8 pcs – M3 × 4
60 mm × 120 mm
8 pcs – M3 × 4
60 mm × 90 mm
4 pcs – M3 × 4
90 mm + 90 mm
4 pcs – M3 × 4
120 mm + 120 mm
Carrier.S300.6D
台面·用户螺纹孔
8 pcs – M3 × 4
60 mm × 120 mm
8 pcs – M3 × 4
60 mm × 90 mm
4 pcs – M3 × 4
90 mm + 90 mm
4 pcs – M3 × 4
120 mm + 120 mm
13线缆 & 接头
默认
.UHV 版本
屏蔽线缆, D-Sub 7W2
屏蔽线缆, SMA
14控制器规格
MC-Archimedes.N 系列
1. 共振频率浮动范围 ±20%;
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