极低温·精密运动 / 基础运动模块 – Linear-z 系列

技术参数

选择更适合的那款

Linear16-z

垂直运动

Linear25-z

垂直运动

Linear25-z.LR

垂直运动

Linear35-z

垂直运动

➨    版本定位

标准版本

2 × 10-7 mbar
1.4 K ~ 350 K

.UHV, 超高真空版本

2 × 10-11 mbar
1.4 K ~ 350 K

.ULT, 极低温版本

2 × 10-7 mbar
10 mK ~ 350 K

.UHV.ULT, 超高真空&极低温版本

2 × 10-11 mbar
10 mK ~ 350 K

➨    基础信息

1外形尺寸

零点位置状态

16 × 16 × 16
( mm × mm × mm )

25 × 25 × 19.6
( mm × mm × mm )

25 × 25 × 29.6
( mm × mm × mm )

35 × 35 × 30
( mm × mm × mm )

2主体材料

标准版本

.UHV 版本

.ULT 版本

.UHV.ULT 版本

纯钛; 12 g

纯钛; 12 g

铍铜; 20 g

铍铜; 20 g

钛合金; 34 g

钛合金; 34 g

铍铜; 58 g

铍铜; 58 g

钛合金; 62 g

钛合金; 62 g

铍铜; 105 g

铍铜; 105 g

钛合金; 118 g

钛合金; 118 g

铍铜; 201 g

铍铜; 201 g

3运动行程

3 mm

6 mm

16 mm

8 mm

4安装空间

满行程运动

16 × 16 × 19
( mm × mm × mm )

25 × 25 × 25.6
( mm × mm × mm )

25 × 25 × 45.6
( mm × mm × mm )

35 × 35 × 38
( mm × mm × mm )

➨    技术参数

5最大速度

@ 300 K

~ 2 mm/s

~ 2 mm/s

~ 2 mm/s

~ 2 mm/s

6最大负载

250 g

300 g

300 g

300 g

7驱动力

3 N

3 N

3 N

5 N

8最小步伐

~10 nm

~10 nm

~10 nm

~10 nm

9精调分辨率

@ 2 K

sub – nm

sub – nm

sub – nm

sub – nm

10双向重复定位精度

1~2 μm

11位置传感器

种类

量程

分辨率

功率

电阻型位置传感器

3 mm

6 mm

16 mm

8 mm

~ 150 nm

1 mW (极低温可选 1 μW)

➨    安装 & 使用

12可用孔位

Linear16-z

台面·用户螺纹孔

2 pcs – M1.6 × 2 mm
11.5 mm – 2

Linear25-z

台面·用户螺纹孔

4 pcs – M1.6 × 2 mm
11.5 mm × 11.5 mm

4 pcs – M2 × 2 mm
21.6 mm × 21.6 mm

4 pcs – M2 × 2 mm
11 mm × 20 mm

4 pcs – M2 × 2 mm
20 mm × 11 mm

Linear25-z.LR

台面·用户螺纹孔

4 pcs – M1.6 × 2 mm
11.5 mm × 11.5 mm

4 pcs – M2 × 2 mm
21.6 mm × 21.6 mm

4 pcs – M2 × 2 mm
11 mm × 20 mm

4 pcs – M2 × 2 mm
20 mm × 11 mm

Linear35-z

台面·用户螺纹孔

4 pcs – M2 × 2 mm
21.6 mm × 21.6 mm

4 pcs – M2 × 2 mm
31 mm × 31 mm

4 pcs – M2 × 2 mm
16 mm × 29 mm

4 pcs – M2 × 2 mm
29 mm × 16 mm

Linear16-z

底座·安装孔

2 pcs – Φ 2.1 mm
13.5 mm – 2

Linear25-z

底座·安装孔

4 pcs – Φ 2.1 mm
21.6 mm × 21.6 mm

Linear25-z.LR

底座·安装孔

4 pcs – Φ 2.1 mm
21.6 mm × 21.6 mm

Linear35-z

底座·安装孔

4 pcs – Φ 2.1 mm
31 mm × 31 mm

13线缆 & 接头

驱动线缆 & 接头

传感线缆 & 接头

磷铜四绞线
2mm 排针(1 × 4 pins)

磷铜三绞线
2mm 排针(1 × 3 pins)

14控制器规格

MC-NewtonLT.06 系列

产品资料

下载列表

产品声明

2D / 3D 文件

Linear16-z

.STEP

2025 / 07 / 23

Linear25-z

.STEP

2025 / 07 / 23

Linear25-z.LR

.STEP

2025 / 07 / 23

Linear35-z

.STEP

2025 / 07 / 23

规格参数

Linear 系列产品手册

.pdf

极低温压电运动系列手册

.pdf

2025 / 07 / 23

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