极低温·精密运动 / 低温闭环扫描台 – Scanner.Ultra 系列

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Scanner.Ultra 系列

“低温闭环扫描台, 亚纳米级”

结合独家兼容极低温的电容式位置传感器, 首次实现极端环境下亚纳米级闭环控制

0.5 nm

亚纳米级位移分辨率

5 nm

纳米级重复定位精度

100 μm

最高100 μm行程

50k Sa/s

高速数据采集&传输

技术参数

选择更适合的那款

Scanner25-x.Ultra

闭环线性扫描

Scanner25-z.Ultra

闭环垂直扫描

Scanner35-xy.Ultra

闭环平面扫描

Scanner35-z.Ultra

闭环垂直扫描

➨    版本定位

标准版本

2 × 10-7 mbar
1.4 K ~ 350 K

✔

✔

✔

✔

.UHV, 超高真空版本

2 × 10-11 mbar
1.4 K ~ 350 K

✔

✔

✔

✔

.ULT, 极低温版本

2 × 10-7 mbar
10 mK ~ 350 K

✔

✔

✔

✔

.UHV.ULT, 超高真空&极低温版本

2 × 10-11 mbar
10 mK ~ 350 K

✔

✔

✔

✔

➨    基础信息

1外形尺寸

零点位置状态

25 × 25 × 10.5
( mm × mm × mm )

25 × 25 × 10.5
( mm × mm × mm )

35 × 35 × 14.5
( mm × mm × mm )

35 × 35 × 14.5
( mm × mm × mm )

2主体材料

标准版本

.UHV 版本

.ULT 版本

.UHV.ULT 版本

钛合金; 33 g

钛合金; 33 g

铍铜; 63 g

铍铜; 63 g

钛合金; 30 g

钛合金; 30 g

铍铜; 57 g

铍铜; 57 g

钛合金; 75 g

钛合金; 75 g

铍铜; 145 g

铍铜; 145 g

钛合金; 75 g

钛合金; 75 g

铍铜; 145 g

铍铜; 145 g

➨    技术参数

3运动方向

X 轴

Z 轴

X轴 & Y 轴

Z 轴

4扫描行程

@ 300 K

@ 4 K

55 μm

30 μm

55 μm

30 μm

100 μm × 100 μm

60 μm × 60 μm

100 μm

60 μm

5驱动电压

@ 300 K

@ 4 K

0 V ~ 75 V

-150 V ~ 150 V

0 V ~ 75 V

-150 V ~ 150 V

0 V ~ 75 V

-150 V ~ 150 V

0 V ~ 75 V

-150 V ~ 150 V

6最大负载

200 g

200 g

500 g

500 g

7驱动电容

@ 300 K

4 μF

4 μF

8 μF

8 μF

8位置传感器

种类

电容式位置传感器 – 多场科技 C0.2.FLT.Cryo

9运动分辨率 (闭环)

分辨率

实测数据

0.5 nm

0.5 nm

0.5 nm

0.5 nm

源自控制器采集，

Scanner35-z.Ultra 以1 nm步长进行闭环运动，1 nm运动台阶清晰可见，噪声RMS值 ~ 0.4 nm

10双向重复定位精度

典型值

< 5 nm

< 5 nm

< 5 nm

< 5 nm

实测数据

通过激光干涉仪，Scanner35-z.Ultra 以3 μm步长在30 μm行程内进行往复闭环运动，重复定位点最大偏差落在± 5 nm范围内，RMS值 < 5 nm

➨    安装 & 使用

11可用孔位

Scanner25-x.Ultra

Scanner25-z.Ultra

Scanner35-xy.Ultra

Scanner35-z.Ultra

Scanner25-x.Ultra

台面·用户螺纹孔

4 pcs – M1.6 × 2 mm
11.5 mm × 11.5 mm

3 pcs – M2 × 2 mm
21.6 mm – 3

Scanner25-z.Ultra

台面·用户螺纹孔

4 pcs – M1.6 × 2 mm
11.5 mm × 11.5 mm

4 pcs – M2 × 2 mm
21.6 mm × 21.6 mm

Scanner35-xy.Ultra

台面·用户螺纹孔

4 pcs – M2 × 3.5 mm
21.6 mm × 21.6 mm

4 pcs – M2 × 3.5 mm
31 mm × 31 mm

Scanner35-z.Ultra

台面·用户螺纹孔

4 pcs – M2 × 2.5 mm
21.6 mm × 21.6 mm

4 pcs – M2 × 3 mm
31 mm × 31 mm

Scanner25-x.Ultra

底座·安装孔

2 pcs – Φ 2.1 mm
13.5 mm – 2

Scanner25-z.Ultra

底座·安装孔

2 pcs – Φ 2.1 mm
11 mm – 2

Scanner35-xy.Ultra

底座·安装孔

2 pcs – Φ 2.6 mm
11 mm – 2

Scanner35-z.Ultra

底座·安装孔

2 pcs – Φ 2.6 mm
16 mm – 2

12线缆 & 接头

驱动线缆 & 接头

传感线缆 & 接头

磷铜双绞线
2mm 排针

低温三同轴线缆
Lemo三同轴接头

13控制器规格

MC-ArchimedesLT.Ultra 系列

产品资料

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产品声明

2D / 3D 文件

Scanner25-x.Ultra

.STEP

Scanner25-z.Ultra

.STEP

Scanner35-xy.Ultra

.STEP

Scanner35-z.Ultra

.STEP

规格参数

Scanner.Ultra 系列产品手册

.pdf

极低温压电运动系列手册

.pdf

2025 / 07 / 23

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