技术参数
选择更适合的那款
Scanner16-xy
平面扫描
Scanner25-xy
平面扫描
Scanner35-xy
平面扫描
➨ 版本定位
标准版本
2 × 10-7 mbar
1.4 K ~ 350 K
✔
✔
✔
.UHV, 超高真空版本
2 × 10-11 mbar
1.4 K ~ 350 K
✔
✔
✔
.ULT, 极低温版本
2 × 10-7 mbar
10 mK ~ 350 K
✔
✔
✔
.UHV.ULT, 超高真空&极低温版本
2 × 10-11 mbar
10 mK ~ 350 K
✔
✔
✔
➨ 基础信息
1外形尺寸
零点位置状态
16 × 16 × 7
( mm × mm × mm )
25 × 25 × 10
( mm × mm × mm )
35 × 35 × 14.5
( mm × mm × mm )
2主体材料
标准版本
.UHV 版本
.ULT 版本
.UHV.ULT 版本
纯钛; 8 g
纯钛; 8 g
铍铜; 14 g
铍铜; 14 g
钛合金; 23 g
钛合金; 23 g
铍铜; 39 g
铍铜; 39 g
钛合金; 65 g
钛合金; 65 g
铍铜; 110 g
铍铜; 110 g
➨ 技术参数
3运动方向
X 轴 & Y 轴
X 轴 & Y 轴
X 轴 & Y 轴
4扫描行程
@ 300 K
@ 4 K
30 μm × 30 μm
20 μm × 20 μm
80 μm × 80 μm
50 μm × 50 μm
100 μm × 100 μm
60 μm × 60 μm
5驱动电压
@ 300 K
@ 4 K
0 V ~ 75 V
-150 V ~ 150 V
0 V ~ 75 V
-150 V ~ 150 V
0 V ~ 75 V
-150 V ~ 150 V
6最大负载
100 g
200 g
500 g
7驱动电容
@ 300 K
1 μF
4 μF
8 μF
8运动分辨率
0.5 nm
1.2 nm
2 nm
➨ 安装 & 使用
9可用孔位
Scanner16-xy
台面·用户螺纹孔
3 pcs – M1.6 × 2 mm
11.5 mm × 11.5 mm
Scanner25-xy
台面·用户螺纹孔
4 pcs – M2 × 2 mm
21.6 mm × 21.6 mm
4 pcs – M2 × 2 mm
11 mm × 20 mm
3 pcs – M2 × 2 mm
20 mm × 11 mm
Scanner35-xy
台面·用户螺纹孔
4 pcs – M2 × 3.5 mm
21.6 mm × 21.6 mm
6 pcs – M2 × 3.5 mm
31 mm × 31 mm
Scanner16-xy
底座·安装孔
2 pcs – Φ 2.1 mm
13.5 mm – 2
Scanner25-xy
底座·安装孔
2 pcs – Φ 2.1 mm
10.8 mm × 4.3 mm
Scanner35-xy
底座·安装孔
2 pcs – Φ 2.6 mm
11 mm – 2
10线缆 & 接头
驱动线缆 & 接头
磷铜双绞线
2mm 排针(1 × 2 pins)
11控制器规格
MC-ArchimedesLT.03 系列
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