极低温·精密运动 / 基础运动模块 – Scanner-z 系列

技术参数

选择更适合的那款

Scanner16-z

垂直扫描

Scanner25-z

垂直扫描

Scanner35-z

垂直扫描

➨    版本定位

标准版本

2 × 10-7 mbar
1.4 K ~ 350 K

.UHV, 超高真空版本

2 × 10-11 mbar
1.4 K ~ 350 K

.ULT, 极低温版本

2 × 10-7 mbar
10 mK ~ 350 K

.UHV.ULT, 超高真空&极低温版本

2 × 10-11 mbar
10 mK ~ 350 K

➨    基础信息

1外形尺寸

零点位置状态

16 × 16 × 6
( mm × mm × mm )

25 × 25 × 8.5
( mm × mm × mm )

35 × 35 × 14.5
( mm × mm × mm )

2主体材料

标准版本

.UHV 版本

.ULT 版本

.UHV.ULT 版本

钛合金; 7 g

钛合金; 7 g

铍铜; 13 g

铍铜; 13 g

钛合金; 20 g

钛合金; 20 g

铍铜; 34 g

铍铜; 34 g

钛合金; 65 g

钛合金; 65 g

铍铜; 110 g

铍铜; 110 g

➨    技术参数

3运动方向

Z 轴

Z 轴

Z 轴

4扫描行程

@ 300 K

@ 4 K

30 μm

20 μm

80 μm

50 μm

100 μm

60 μm

5驱动电压

@ 300 K

@ 4 K

0 V ~ 75 V

-150 V ~ 150 V

0 V ~ 75 V

-150 V ~ 150 V

0 V ~ 75 V

-150 V ~ 150 V

6最大负载

100 g

200 g

500 g

7驱动电容

@ 300 K

0.8 μF

4.2 μF

8 μF

8运动分辨率

0.5 nm

1.2 nm

2 nm

➨    安装 & 使用

9可用孔位

Scanner16-z

台面·用户螺纹孔

2 pcs – M1.6 × 2 mm
5.75 mm × 3.25 mm

2 pcs – M1.6 × 2 mm
3.25 mm × 5.75 mm

Scanner25-z

台面·用户螺纹孔

4 pcs – M1.6 × 2 mm
11.5 mm × 11.5 mm

4 pcs – M2 × 2 mm
21.6 mm × 21.6 mm

4 pcs – M2 × 2 mm
Φ 13 mm

Scanner35-z

台面·用户螺纹孔

4 pcs – M2 × 2 mm
21.6 mm × 21.6 mm

4 pcs – M2.5 × 2 mm
11 mm – 2

Scanner16-z

底座·安装孔

2 pcs – Φ 2.1 mm
11.5 mm – 2

Scanner25-z

底座·安装孔

2 pcs – Φ 2.1 mm
11 mm – 2

Scanner35-z

底座·安装孔

2 pcs – Φ 2.6 mm
16 mm – 2

10线缆 & 接头

驱动线缆 & 接头

磷铜双绞线
2mm 排针(1 × 2 pins)

11控制器规格

MC-ArchimedesLT.03 系列

产品资料

下载列表

产品声明

2D / 3D 文件

Scanner16-z

.STEP

2025 / 07 / 23

Scanner25-z

.STEP

2025 / 07 / 23

Scanner35-z

.STEP

2025 / 07 / 23

规格参数

Scanner 系列产品手册

.pdf

极低温压电运动系列手册

.pdf

2025 / 07 / 23

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