超精密运动 / 运动单元·长行程 – Force 系列

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Force 系列产品

“力拔山兮气盖世”

搭配”鲁智深系列”全新控制器，真正实现超稳定纳米级运动

推力最高达

100 N

纳米级运动系列
单位体积下
力输出的巅峰之作

运动分辨率·开环

0.02 nm

超高开环运动分辨率
方便用户自主集成运动方案

最小步伐·闭环

5 nm

极致控制能力
保证超大力负载下
启停顺滑

FDU 基础模块

Force 运动台

技术参数

选择更适合的那款

FDU030.Pro

闭环·直线运动模块

FDU030

开环·直线运动模块

FDU100

开环·直线运动模块

➨    版本定位

标准版本

大气环境

✔

✔

✔

.HV, 高真空版本

优于 2E-7 mbar

✔

✔

✔

.UHV, 超高真空版本

优于 2E-11 mbar

✔

✔

✔

.NM, 完全无磁版本

完全无磁

✔

✔

✔

.HV.NM, 高真空&完全无磁版本

完全无磁 & 高真空

✔

✔

✔

.UHV.NM, 超高真空&完全无磁版本

完全无磁 & 超高真空

✔

✔

✔

➨    基础信息

1外形尺寸

零点位置状态

(长度 × 宽度 × 厚度)

FDU30.Pro

58 mm × 25 mm × 25 mm

FDU30

58 mm × 25 mm × 20 mm

FDU100

110 mm × 30 mm × 40 mm

2主体材料

标准版本

.HV 版本

.UHV 版本

.NM 版本

钢; 130 g

钢; 130 g

钢; 130 g

钛合金, 陶瓷; 75 g

钢; 100 g

钢; 100 g

钢; 100 g

钛合金, 陶瓷; 60 g

钢; 200 g

钢; 200 g

钢; 200 g

钛合金, 陶瓷; 130 g

3运动行程

默认

可选配

15 mm

N/A

20 mm

N/A

70 mm

长度可定

4安装空间

满足全行程运动

(长度 × 宽度 × 厚度)

FDU30.Pro

73 mm × 25 mm × 25 mm

FDU30

78 mm × 25 mm × 20 mm

FDU100

180 mm × 30 mm × 40 mm

➨    技术参数

5速度范围

默认

.HV & .UHV 版本

0.1 mm/s ~ 3 mm/s

0.1 mm/s ~ 0.3 mm/s

0.1 mm/s ~ 3 mm/s

0.1 mm/s ~ 0.3 mm/s

0.1 mm/s ~ 9 mm/s

0.1 mm/s ~ 0.9 mm/s

6运动方向最大推力

30 N

30 N

100 N

7保持力

40 N

40 N

120 N

8双向重复定位精度

± 125 nm

N/A

N/A

9全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad

N/A

N/A

10最小步伐

开环

闭环

2 nm

5 nm

2 nm

N/A

2 nm

N/A

11开环运动分辨率

0.02 nm

0.02 nm

0.02 nm

12位置传感器

种类

分辨率

光学位置传感器

2 nm

N/A

N/A

N/A

N/A

➨    安装 & 使用

13可用孔位

FDU030.Pro

FDU030

FDU100

FDU030.Pro

轴向·定位销

4 pcs – Φ 2.0
11 mm × 6 mm

FDU030

轴向·定位销

4 pcs – Φ 2.0
11 mm × 6 mm

FDU100

轴向·定位销

/

FDU030.Pro

轴向·用户螺纹孔

4 pcs – M2 × 4
11 mm – 2
6 mm – 2

FDU030

轴向·用户螺纹孔

4 pcs – M2 × 4
11 mm – 2
6 mm – 2

FDU100

轴向·用户螺纹孔

1 pcs – M4 × 5

FDU030.Pro

底面·安装孔

4 pcs – M3 × 7.5
18 mm × 21 mm

FDU030

底面·安装孔

4 pcs – M3 × 7.5
20 mm × 21 mm

FDU100

底面·安装孔

4 pcs – M4 × 10
25 mm × 25 mm

14线缆 & 接头

其他版本

.UHV 版本

屏蔽线缆,
D-Sub15

Kapton 漆包线,
D-Sub15 (PEEK)

15控制器规格

MC-LuZhishen 系列

FDU 基础模块

Force 运动台

技术参数

选择更适合的那款

LS65x.Force

大推力输出，线性运动

LS105x.Force

大推力输出，线性运动

➨    版本定位

标准版本

大气环境

✔

✔

.HV, 高真空版本

优于 2E-7 mbar

✔

✔

.UHV, 超高真空版本

优于 2E-11 mbar

✔

✔

.NM, 完全无磁版本

完全无磁

✔

✔

.HV.NM, 高真空&完全无磁版本

完全无磁 & 高真空

✔

✔

.UHV.NM, 超高真空&完全无磁版本

完全无磁 & 超高真空

✔

✔

➨    基础信息

1外形尺寸

零点位置外形

(宽度 × 长度 × 厚度)

LS65x.Force,

65 mm × 65 mm × 20 mm

LS105x.Force,

105 mm × 105 mm × 30 mm

2主体材料

标准版本

.HV 版本

.UHV 版本

.NM 版本

钢; 550 g

钢; 550 g

钢; 550 g

钛合金, 陶瓷;  300 g

钢; 2 kg

钢; 2 kg

钢; 2 kg

钛合金, 陶瓷;  1.2 kg

3运动行程

30 mm

60 mm

4安装空间

满足全行程运动

(宽度 × 长度 × 厚度)

LS65x.Force,

65 mm × 95 mm × 20 mm

LS105x.Force,

105 mm × 165 mm × 30 mm

➨    技术参数

5速度范围

默认

.HV & .UHV 版本

0.1 mm/s ~ 3 mm/s

推荐使用 0.3 mm/s

6运动方向最大推力

30 N

60 N

7保持力

40 N

80 N

8最大负载

水平安装

竖直安装

5 kg

10 kg

3 kg

6 kg

9双向重复定位精度

± 125 nm

10全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad

0.2 mrad

11最小步伐

开环

闭环

2 nm

5 nm

12开环运动分辨率

0.02 nm

13位置传感器

种类

分辨率

光学位置传感器

2 nm

➨    安装 & 使用

14可用孔位

LS65x.Force

台面·定位销

4 pcs – Φ 3.0
50 mm × 45 mm

底座·定位销

4 pcs – Φ 3.0
45 mm × 50 mm

LS105x.Force

台面·定位销

4 pcs – Φ 4.0
75 mm × 75 mm

底座·定位销

4 pcs – Φ 4.0
75 mm × 75 mm

LS65x.Force

台面·用户螺纹孔

4 pcs – M3 × 5.5
55 mm × 55 mm

4 pcs – M3 × 5.5
25 mm × 50 mm

底座·安装孔

4 pcs – Φ 3.2
50 mm × 25 mm

LS105x.Force

台面·用户螺纹孔

4 pcs – M4 × 8
50 mm × 95 mm

底面·安装孔

4 pcs – Φ 4.3
95 mm × 50 mm

15线缆 & 接头

其他版本

.UHV 版本

屏蔽线缆,
D-Sub15

Kapton 漆包线,
D-Sub15 (PEEK)

16控制器规格

MC-LuZhishen 系列

产品资料

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产品声明

2D / 3D 文件

FDU030.Pro

.STEP

FDU030

.STEP

FDU100

.STEP

LS65x.Force

.STEP

LS105x.Force

.STEP

规格参数

Force 系列产品手册

.pdf

室温压电运动系列手册

.pdf

2025 / 03 / 09

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