Mirrors 系列 / 压电镜片偏摆台
技术参数
选择更适合的那款
Mirrors.TxTy.0303
压电镜片偏摆台
Mirrors.TxTy.1010
压电镜片偏摆台
0.2 nm
➨ 版本定位
.HV, 高真空版本
优于 2E-7 mbar
✔
✔
.UHV, 超高真空版本
优于 2E-11 mbar
✔
✔
.NM, 完全无磁版本
完全无磁
✔
✔
➨ 基础信息
1 运动方向 & 行程
θX，θY 闭环
±1.5 mrad，±1.5 mrad
±5 mrad，±5 mrad
2 运动分辨率
开环
闭环
0.05 μrad
0.1 μrad
0.2 μrad
0.5 μrad
3外形尺寸
运动方向
尺寸
Tx，Ty
Φ 25 × 42 mm
Tx，Ty
Φ 25 × 96 mm
4主体材料
.HV 版本
.UHV 版本
.NM 版本
钢；140 g
钢；140 g
钛合金；130 g
钢；240 g
钢；240 g
钛合金；230 g
➨ 技术参数
5 线性度
0.05%
0.1%
6 重复定位精度
± 0.8 μrad
± 1.5 μrad
7 共振频率 1 (零负载)
θX，θY
2 kHz
1 kHz
8 摇摆半径
6.5 mm
6.5 mm
9 驱动电压
Max. 130 V
10 推荐使用温度
15 ~ 40 °C
11位置传感器
应变片传感器SGS
➨ 安装 & 使用
12可用孔位
Mirrors.TxTy.0303/Mirrors.TxTy.1010
台面·用户螺纹孔
4 pcs – M2.0 x 4.0
22 mm x 22 mm
13线缆 & 接头
默认
屏蔽线缆,
D-Sub 7W2
14控制器规格
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