Mirrors 系列 / 压电移相器
技术参数
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Mirrors.Z12TxTy0101
压电移相器
Mirrors.Z12
压电移相器
➨ 版本定位
.HV, 高真空版本
优于 2E-7 mbar
✔
.UHV, 超高真空版本
优于 2E-11 mbar
✔
.NM, 完全无磁版本
完全无磁
✔
➨ 基础信息
1 运动方向 & 行程
Z ，Tx ， Ty 闭环
12 μm / 1 mrad / 1mrad
2 运动分辨率
开环
闭环
0.2 nm / 0.05 μrad / 0.05 μrad
0.4 nm / 0.1 μrad / 0.1 μrad
3外形尺寸
运动方向
尺寸
Z，Tx & Ty 方向
Φ 25 × 31 mm
4主体材料
.HV 版本
.UHV 版本
.NM 版本
铝合金 & 不锈钢；120 g
铝合金 & 不锈钢；120 g
铝合金 & 不锈钢；100 g
铝合金 & 不锈钢；40 g
铝合金 & 不锈钢；40 g
铝合金 & 不锈钢；40 g
➨ 技术参数
5 线性度
0.2%
6 刚性
10 N/µm
7 共振频率 1 (零负载)
5.5 kHz
8 最大负载
200 g
9 驱动电压
Max.150 V
10 推荐使用温度
– 20 ~ 80 °C
11位置传感器
应变片传感器SGS
➨ 安装 & 使用
12可用孔位
Mirrors.Z12TxTy0101
台面·用户螺纹孔
4 pcs – M4.0 x Φ 2.2
30 mm x 30 mm
4 pcs – M2.0
17 mm x 17 mm
13线缆 & 接头
默认
屏蔽线缆,
D-Sub 7W2
14控制器规格
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