CN / EN
超精密运动 / 短行程扫描台 – OB 系列
物镜型压电扫描台 · OB 系列
“物镜运动控制, Z 方向”
多种行程，更快的响应和更高的精度是光学显微和加工的最好搭档
OB 系列
物镜运动控制, Z
高刚性 & 高动态物镜控制
Z
OB100/200/400
OBHL100/200
• 电容传感闭环控制, 最高分辨率 1 nm • 100/200/400 μm 多行程可选 • 优于 8 nm 重复定位精度 • 支持多种规格镜头, 可升级自动对焦功能
详情 >>
• 1 kg 最大负载 • 优于 5 nm 重复定位精度 • 支持多种规格镜头, 可升级自动对焦功能
“物镜运动控制, XY 平面”
高速扫描运动，电容闭环传感
物镜运动控制, XY
XY
OB200.XY
• 200 μm × 200 μm 大行程运动 • 500 g 最大负载 • 优于 10 nm 重复定位精度 • 电容传感闭环控制, 最高分辨率 2 nm
