技术参数
选择更适合的那款
OB100
Z 垂直运动
OB200
Z 垂直运动
OB400
Z 垂直运动
➨ 版本定位
标准版本
大气环境
✔
✔
✔
.HV, 高真空版本
优于 2E-7 mbar
✔
✔
✔
.UHV, 超高真空版本
优于 2E-11 mbar
✔
✔
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.NM, 完全无磁版本
完全无磁
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.HV.NM, 高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 高真空
✔
✔
✔
.UHV.NM, 超高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 超高真空
✔
✔
✔
➨ 基础信息
1运动方向 & 行程 (闭环)
100 μm
200 μm
400 μm
2尺寸
外形尺寸
65 mm × 50 mm × 27 mm
65 mm × 50 mm × 39 mm
3主体材料
标准版本
.HV 版本
.UHV 版本
.NM 版本
铝合金, 钢; 220 g
铝合金, 钢; 220 g
铝合金, 钢; 220 g
铝合金, 钛合金; 200 g
铝合金, 钢; 220 g
铝合金, 钢; 220 g
铝合金, 钢; 220 g
铝合金, 钛合金; 200 g
铝合金, 钢; 400 g
铝合金, 钢; 400 g
铝合金, 钢; 400 g
铝合金, 钛合金; 360 g
➨ 技术参数
4线性度误差
0.03%
0.03%
0.03%
5重复定位精度
8 nm
8 nm
8 nm
6运动分辨率
闭环
开环
1 nm
0.2 nm
3 nm
0.4 nm
5 nm
0.8 nm
7刚性
0.5 N/μm
0.35 N/μm
0.25 N/μm
8共振频率 1
零负载
150 g 负载
600 Hz
250 Hz
480 Hz
220 Hz
380 Hz
165 Hz
9最大负载
300 g
300 g
500 g
10位置传感器
电容式位置传感
Farady 系列产品
➨ 安装 & 使用
11可用孔位
OB100/200/400
台面·用户螺纹孔
2 pcs – M2.5 × 4.0
44 mm – 2
2 pcs – M2.5 × 4.0
20 mm – 2
OB100/200/400
12线缆 & 接头
默认
.UHV 版本
屏蔽线缆, D-Sub 7W2
屏蔽线缆, SMA
13控制器规格
MC-Archimedes.N 系列
1. 共振频率浮动范围 ±20%;
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