技术参数
选择更适合的那款
OBHL100
Z 垂直运动
OBHL200
Z 垂直运动
➨ 版本定位
标准版本
大气环境
✔
✔
.HV, 高真空版本
优于 2E-7 mbar
✔
✔
.UHV, 超高真空版本
优于 2E-11 mbar
✔
✔
.NM, 完全无磁版本
完全无磁
✔
✔
.HV.NM, 高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 高真空
✔
✔
.UHV.NM, 超高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 超高真空
✔
✔
➨ 基础信息
1运动方向 & 行程 (闭环)
100 μm
200 μm
2尺寸
外形尺寸
67 mm × 67 mm × 54 mm
78 mm × 78 mm × 67 mm
3主体材料
标准版本
.HV 版本
.UHV 版本
.NM 版本
铝合金, 钢; 650 g
铝合金, 钢; 650 g
铝合金, 钢; 650 g
铝合金, 钛合金; 600 g
铝合金, 钢; 850 g
铝合金, 钢; 850 g
铝合金, 钢; 850 g
铝合金, 钛合金; 800 g
➨ 技术参数
4线性度误差
0.02%
0.02%
5重复定位精度
5 nm
5 nm
6运动分辨率
闭环
开环
1 nm
0.3 nm
1.5 nm
0.5 nm
7刚性
3 N/μm
2 N/μm
8共振频率 1
零负载
150 g 负载
1 kHz
560 Hz
750 Hz
400 Hz
9最大负载
1 kg
1 kg
10位置传感器
电容式位置传感
Farady 系列产品
➨ 安装 & 使用
11可用孔位
OBHL100/200
台面·用户螺纹孔
4 pcs – M2.0 × 3.0
11 mm × 11 mm
OBHL100/200
12线缆 & 接头
默认
.UHV 版本
屏蔽线缆, D-Sub 7W2
屏蔽线缆, SMA
13控制器规格
MC-Archimedes.N 系列
1. 共振频率浮动范围 ±20%;
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