技术参数
选择更适合的那款
SH150.X
X 轴运动
➨ 版本定位
标准版本
大气环境
✔
.HV, 高真空版本
优于 2E-7 mbar
✔
.UHV, 超高真空版本
优于 2E-11 mbar
✔
.NM, 完全无磁版本
完全无磁
✔
.HV.NM, 高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 高真空
✔
.UHV.NM, 超高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 超高真空
✔
➨ 基础信息
1运动方向 & 行程 (闭环)
150 μm
2尺寸
外形尺寸
90 mm × 90 mm × 36.5 mm
3主体材料
标准版本
.HV 版本
.UHV 版本
.NM 版本
铝合金, 钢; 1 kg
铝合金, 钢; 1 kg
铝合金, 钢; 1 kg
铝合金, 钛合金; 0.9 kg
➨ 技术参数
4线性度误差
0.02 %
5重复定位精度
5 nm
6运动分辨率
闭环
开环
0.5 nm
0.2 nm
7刚性
5 N/μm
8共振频率 1
(零负载)
零负载
3 kg 负载
1300 Hz
200 Hz
9最大负载
8 kg
10位置传感器
电容式位置传感
Farady 系列产品
➨ 安装 & 使用
11可用孔位
SH150.X
台面·用户螺纹孔
4 pcs – M4 × 6.5
32 mm × 30 mm
SH150.X
SH150.X
台面·定位销
4 pcs – Φ 3.0
30 mm
SH150.X
台面·安装孔
4 pcs – Φ 5.5
78 mm × 78 mm
底面·定位销
4 pcs – Φ 3.0
78 mm
12线缆 & 接头
默认
.UHV 版本
屏蔽线缆, D-Sub 7W2
屏蔽线缆, SMA
13控制器规格
MC-Archimedes.N 系列
1. 共振频率浮动范围 ±20%;
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