技术参数
选择更适合的那款
SH30.XYZ
XYZ 三轴运动
➨ 版本定位
标准版本
大气环境
✔
.HV, 高真空版本
优于 2E-7 mbar
✔
.UHV, 超高真空版本
优于 2E-11 mbar
✔
.NM, 完全无磁版本
完全无磁
✔
.HV.NM, 高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 高真空
✔
.UHV.NM, 超高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 超高真空
✔
➨ 基础信息
1运动方向 & 行程 (闭环)
30 × 30 × 15 μm
2尺寸
外形尺寸
160 mm × 160 mm × 34.5 mm
3主体材料
标准版本
.HV 版本
.UHV 版本
.NM 版本
铝合金, 钢; 4.5 kg
铝合金, 钢; 4.5 kg
铝合金, 钢; 4.5 kg
铝合金, 钛合金; 4.2 kg
➨ 技术参数
4线性度误差
0.03%
5重复定位精度
4 nm
6运动分辨率
闭环
开环
0.3 nm
0.2 nm
7刚性
25 N/μm
8共振频率 1
(零负载)
X
Y
Z
760 Hz
760 Hz
830 Hz
9共振频率 1
(10 kg 负载)
X
Y
Z
220 Hz
220 Hz
340 Hz
10最大负载
10 kg
11位置传感器
电容式位置传感
Farady 系列产品
➨ 安装 & 使用
12可用孔位
SH30.XYZ
台面·用户螺纹孔
4 pcs – M4.0 × 5.0
54 mm × 140 mm
4 pcs – M4.0 × 5.0
140 mm × 54 mm
2 pcs – M4.0 × 5.0
50 mm – 2
2 pcs – M4.0 × 5.0
50 mm – 2
SH30.XYZ
底座·安装孔
4 pcs – Φ 4.5
140 mm × 140 mm
13线缆 & 接头
默认
.UHV 版本
屏蔽线缆, D-Sub 7W2
屏蔽线缆, SMA
14控制器规格
MC-Archimedes.N 系列
1. 共振频率浮动范围 ±20%;
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