技术参数
选择更适合的那款
S100.XYZ
XYZ 三轴运动
S200.XYZ
XYZ 三轴运动
S300.XYZ
XYZ 三轴运动
➨ 版本定位
标准版本
大气环境
✔
✔
✔
.HV, 高真空版本
优于 2E-7 mbar
✔
✔
✔
.UHV, 超高真空版本
优于 2E-11 mbar
✔
✔
✔
.NM, 完全无磁版本
完全无磁
✔
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✔
.HV.NM, 高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 高真空
✔
✔
✔
.UHV.NM, 超高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 超高真空
✔
✔
✔
➨ 基础信息
1运动方向 & 行程 (闭环)
100 μm
200 μm
300 μm
2尺寸
外形尺寸
55 mm × 55 mm × 42 mm
3主体材料
标准版本
.HV 版本
.UHV 版本
.NM 版本
铝合金, 钢; 650 g
铝合金, 钢; 650 g
铝合金, 钢; 650 g
铝合金, 钛合金; 600 g
铝合金, 钢; 650 g
铝合金, 钢; 650 g
铝合金, 钢; 650 g
铝合金, 钛合金; 600 g
铝合金, 钢; 650 g
铝合金, 钢; 650 g
铝合金, 钢; 650 g
铝合金, 钛合金; 600 g
➨ 技术参数
4线性度误差
0.02%
0.02%
0.02%
5重复定位精度
5 nm
5 nm
5 nm
6运动分辨率
闭环
开环
0.5 nm
0.2 nm
0.6 nm
0.3 nm
0.9 nm
0.5 nm
7刚性
0.6 N/μm
0.5 N/μm
0.2 N/μm
8共振频率 1
X
Y
Z
490 Hz
480 Hz
350 Hz
410 Hz
380 Hz
320 Hz
310 Hz
250 Hz
230 Hz
9共振频率 1
(0.5 kg 负载)
X
Y
Z
110 Hz
115 Hz
170 Hz
100 Hz
105 Hz
155 Hz
75 Hz
80 Hz
110 Hz
10最大负载
500 g
500 g
500 g
11位置传感器
电容式位置传感
Farady 系列产品
➨ 安装 & 使用
12可用孔位
S100/200/300.XYZ
台面·用户螺纹孔
4 pcs – M2.5 × 5.0
25 mm × 50 mm
4 pcs – M2.5 × 5.0
50 mm × 25 mm
4 pcs – M2.5 × 5.0
50 mm + 50 mm
S100/200/300.XYZ
底座·安装孔
4 pcs – Φ 2.8
48 mm × 48 mm
13线缆 & 接头
默认
.UHV 版本
屏蔽线缆, D-Sub 7W2
屏蔽线缆, SMA
14控制器规格
MC-Archimedes.N 系列
1. 共振频率浮动范围 ±20%;
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