技术参数
选择更适合的那款
S100.XYZ.P
XYZ 三轴运动
➨ 版本定位
标准版本
大气环境
✔
.HV, 高真空版本
优于 2E-7 mbar
✔
.UHV, 超高真空版本
优于 2E-11 mbar
✔
.NM, 完全无磁版本
完全无磁
✔
.HV.NM, 高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 高真空
✔
.UHV.NM, 超高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 超高真空
✔
➨ 基础信息
1运动方向 & 行程 (闭环)
100 μm
2尺寸
外形尺寸
40 mm × 40 mm × 40 mm
3主体材料
标准版本
.HV 版本
.UHV 版本
.NM 版本
铝合金, 钢; 200 g
铝合金, 钢; 200 g
铝合金, 钢; 200 g
铝合金, 钛合金; 190 g
➨ 技术参数
4线性度误差
0.02%
5重复定位精度
6 nm
6运动分辨率
闭环
开环
1 nm
0.5 nm
7刚性
0.6 N/μm
8共振频率 1
(零负载)
X
Y
Z
750 Hz
750 Hz
750 Hz
9共振频率 1
(0.2 kg 负载)
X
Y
Z
230 Hz
230 Hz
230 Hz
10最大负载
200 g
11位置传感器
电容式位置传感
Farady 系列产品
➨ 安装 & 使用
12可用孔位
S100.XYZ.P
台面·用户螺纹孔
4 pcs – M2.0 × 3.0
15 mm + 15 mm
S100.XYZ.P
底座·安装孔
2 pcs – Φ 2.8
16 mm – 2
13线缆 & 接头
默认
.UHV 版本
屏蔽线缆, D-Sub 7W2
屏蔽线缆, SMA
14控制器规格
MC-Archimedes.N 系列
1. 共振频率浮动范围 ±20%;
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