技术参数
选择更适合的那款
S100.Z
Z 垂直运动
S200.Z
Z 垂直运动
S300.Z
Z 垂直运动
➨ 版本定位
标准版本
大气环境
✔
✔
✔
.HV, 高真空版本
优于 2E-7 mbar
✔
✔
✔
.UHV, 超高真空版本
优于 2E-11 mbar
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✔
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.NM, 完全无磁版本
完全无磁
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✔
.HV.NM, 高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 高真空
✔
✔
✔
.UHV.NM, 超高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 超高真空
✔
✔
✔
➨ 基础信息
1运动方向 & 行程 (闭环)
100 μm
200 μm
300 μm
2尺寸
外形尺寸
55 mm × 55 mm × 23 mm
3主体材料
标准版本
.HV 版本
.UHV 版本
.NM 版本
铝合金, 钢; 260 g
铝合金, 钢; 260 g
铝合金, 钢; 260 g
铝合金, 钛合金; 240 g
铝合金, 钢; 260 g
铝合金, 钢; 260 g
铝合金, 钢; 260 g
铝合金, 钛合金; 240 g
铝合金, 钢; 260 g
铝合金, 钢; 260 g
铝合金, 钢; 260 g
铝合金, 钛合金; 240 g
➨ 技术参数
4线性度误差
0.02%
0.02%
0.02%
5重复定位精度
5 nm
5 nm
5 nm
6运动分辨率
闭环
开环
0.5 nm
0.2 nm
0.6 nm
0.3 nm
0.9 nm
0.5 nm
7刚性
1 N/μm
0.7 N/μm
0.4 N/μm
8共振频率 1
零负载
0.5 kg 负载
550 Hz
230 Hz
540 Hz
210 Hz
430 Hz
150 Hz
9最大负载
500 g
500 g
500 g
10位置传感器
电容式位置传感
Farady 系列产品
➨ 安装 & 使用
11可用孔位
S100/200/300.Z
台面·用户螺纹孔
4 pcs – M2.5 × 4.0
26 mm × 45 mm
4 pcs – M2.5 × 4.0
36 mm × 26 mm
4 pcs – M2.5 × 4.0
45 mm + 45 mm
2 pcs – M2.5 × 4.0
26 mm – 2
1 pcs – M2.5 × 4.0
S100/200/300.Z
底座·安装孔
4 pcs – Φ 2.8
45 mm × 45 mm
12线缆 & 接头
默认
.UHV 版本
屏蔽线缆, D-Sub 7W2
屏蔽线缆, SMA
13控制器规格
MC-Archimedes.N 系列
1. 共振频率浮动范围 ±20%;
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