超精密运动 / 运动单元·长行程 – Speed 系列

Speed 系列

“唯快不破”

更快的单次伺服周期 & 更高的算法效率保障高速下的高精度

高速·线性运动台
Speed 系列

高速·旋转台
Speed 系列

直线速度最高达

200 mm/s

纳米级运动也可以很高速

旋转速度最高达

720 °/s

一个闭环的旋转马达

负载能力至少

2 kg

速度快且能负重

* 支持多种通讯接口; 支持模拟信号运动控制; 完全无磁, 超高真空等特殊版本可选

线性运动

旋转运动

技术参数

选择更适合的那款

LS50x.Speed

超高速, 线性运动

LS65x.Speed

超高速, 线性运动

LS105x.Speed

超高速, 线性运动

➨    版本定位

标准版本

大气环境

.HV, 高真空版本

优于 2E-7 mbar

.UHV, 超高真空版本

优于 2E-11 mbar

.NM, 完全无磁版本

完全无磁

➨    基础信息

1外形尺寸

零点位置状态

(宽度 × 长度 × 高度)

LS50x.Speed,

50 mm × 50 mm × 14 mm

LS65x.Speed,

65 mm × 65 mm × 15 mm

LS105x.Speed,

105 mm × 105 mm × 20 mm

2主体材料

标准版本

.HV 版本

.UHV 版本

.NM 版本

铝合金, 钢; 120 g

钛, 钢; 150 g

钛, 钢; 150 g

钛, 陶瓷; 130 g

铝合金, 钢; 200 g

钛, 钢; 270 g

钛, 钢; 270 g

钛, 陶瓷; 240 g

铝合金, 钢; 660 g

钛, 钢; 960 g

钛, 钢; 960 g

钛, 陶瓷; 910 g

3运动行程

24 mm

30 mm

60 mm

4安装空间

满行程运动

(宽度 × 长度 × 高度)

LS50x.Speed,

50 mm × 74 mm × 14 mm

LS65x.Speed,

65 mm × 95 mm × 15 mm

LS105x.Speed,

105 mm × 165 mm × 20 mm

➨    技术参数

5速度范围

默认

.HV & .UHV 版本

5 mm/s ~ 200 mm/s

5 mm/s ~ 20 mm/s

6驱动力

2 N

3 N

4 N

7保持力

3 N

4 N

5 N

8最大负载

水平方向使用

竖直方向使用

2 kg

100 g

3 kg

150 g

5 kg

N/A

9双向重复定位精度

± 250 nm

± 250 nm

± 250 nm

10全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad

0.3 mrad

0.2 mrad

11最小步伐

开环

50 nm

50 nm

50 nm

12位置传感器

种类

分辨率

光学位置传感器

2 nm

➨    安装 & 使用

13可用孔位

LS50x.Speed

台面·定位销

4 pcs – Φ 2.5
40 mm × 40 mm

底座·定位销

4 pcs – Φ 2.5
40 mm × 40 mm

LS65x.Speed

台面·定位销

4 pcs – Φ 2.5
40 mm × 50 mm

底座·定位销

4 pcs – Φ 2.5
50 mm × 40 mm

LS105x.Speed

台面·定位销

4 pcs – Φ 4.0
75 mm × 75 mm

底座·定位销

4 pcs – Φ 4.0
75 mm × 75 mm

LS50x.Speed

台面·用户螺纹孔

4 pcs – M2.5 × 3.5
20 mm × 20 mm

4 pcs – M2.5 × 3.5
30 mm × 45 mm

4 pcs – M2.5 × 3.5
45 mm × 45 mm

底座·安装孔

4 pcs – Φ 2.9
45 mm × 30 mm

LS65x.Speed

台面·用户螺纹孔

4 pcs – M3 × 4
25 mm × 50 mm

4 pcs – M3 × 4
55 mm × 55 mm

底座·安装孔

4 pcs – Φ 3.2
50 mm × 25 mm

LS105x.Speed

台面·用户螺纹孔

4 pcs – M3 × 5
25 mm × 50 mm

4 pcs – M3 × 5
55 mm × 55 mm

4 pcs – M4 × 5
50 mm × 95 mm

4 pcs – M4 × 5
95 mm × 95 mm

底座·安装孔

4 pcs – Φ 4.3
95 mm × 50 mm

14线缆 & 接头

默认

.UHV 版本

屏蔽线缆,
D-Sub15

Kapton 漆包线,
D-Sub15 (PEEK)

15控制器规格

MC-Doppler 系列

线性运动

旋转运动

技术参数

选择更适合的那款

RS65.Speed

超高速, 旋转运动

RS105.Speed

超高速, 旋转运动

➨    版本定位

标准版本

大气环境

.HV, 高真空版本

优于 2E-7 mbar

.UHV, 超高真空版本

优于 2E-11 mbar

.NM, 完全无磁版本

完全无磁

➨    基础信息

1尺寸

零点位置状态

(宽度 × 长度 × 高度)

RS65.Speed,

65 mm × 65 mm × 25 mm

RS105.Speed,

105 mm × 135 mm × 23 mm

2主体材料

标准版本

.HV 版本

.UHV 版本

.NM 版本

铝合金; 330 g

钛合金; 360 g

钛合金; 360 g

铝合金; 330 g

铝合金; 800 g

钛合金; 1 kg

钛合金; 1 kg

铝合金; 800 g

3运动行程

360 ° 连续运动

➨    技术参数

4速度范围

默认

.HV & .UHV 版本

60 °/s ~ 720 °/s

推荐使用 60 °/s

1.3 °/s ~ 360 °/s

推荐使用 36 °/s

5最大负载

2 kg

5 kg

6额定力矩

0.5 N·m

0.4 N·m

7最大力矩

0.8 N·m

0.6 N·m

8保持力矩

0.8 N·m

0.6 N·m

9最小步伐

15 μrad

0.75 μrad

10位置传感器

种类

分辨率

光学位置传感器

1 μrad

光学位置传感器

1 μrad

➨    安装 & 使用

11可用孔位

RS65.Speed

台面·用户螺纹孔

4 pcs – Φ 3.0
50 mm × 45 mm

底座·安装孔

4 pcs – Φ 3.2
50 mm × 25 mm

RS105.Speed

台面·用户螺纹孔

4 pcs – Φ 4.0
75 mm × 75 mm

底座·安装孔

4 pcs – Φ 4.3
95 mm × 50 mm

12线缆 & 接头

默认

.UHV 版本

屏蔽线缆,
D-Sub15

Kapton 漆包线,
D-Sub15 (PEEK)

13控制器规格

MC-Doppler 系列

产品资料

下载列表

产品声明

2D / 3D 文件

LS50x.Speed

.STEP

2025 / 08 / 07

LS65x.Speed

.STEP

2025 / 08 / 07

LS105x.Speed

.STEP

2025 / 08 / 07

RS65.Speed

.STEP

2025 / 08 / 07

RS105.Speed

.STEP

2025 / 08 / 07

规格参数

Speed 系列产品手册

.pdf

室温压电运动系列手册

.pdf