技术参数
选择更适合的那款
LS50x.Speed
超高速, 线性运动
LS65x.Speed
超高速, 线性运动
LS105x.Speed
超高速, 线性运动
➨ 版本定位
标准版本
大气环境
✔
✔
✔
.HV, 高真空版本
优于 2E-7 mbar
✔
✔
✔
.UHV, 超高真空版本
优于 2E-11 mbar
✔
✔
✔
.NM, 完全无磁版本
完全无磁
✔
✔
✔
➨ 基础信息
1外形尺寸
零点位置状态
(宽度 × 长度 × 高度)
LS50x.Speed,
50 mm × 50 mm × 14 mm
LS65x.Speed,
65 mm × 65 mm × 15 mm
LS105x.Speed,
105 mm × 105 mm × 20 mm

2主体材料
标准版本
.HV 版本
.UHV 版本
.NM 版本
铝合金, 钢; 120 g
钛, 钢; 150 g
钛, 钢; 150 g
钛, 陶瓷; 130 g
铝合金, 钢; 200 g
钛, 钢; 270 g
钛, 钢; 270 g
钛, 陶瓷; 240 g
铝合金, 钢; 660 g
钛, 钢; 960 g
钛, 钢; 960 g
钛, 陶瓷; 910 g
3运动行程
24 mm
30 mm
60 mm
4安装空间
满行程运动
(宽度 × 长度 × 高度)
LS50x.Speed,
50 mm × 74 mm × 14 mm
LS65x.Speed,
65 mm × 95 mm × 15 mm
LS105x.Speed,
105 mm × 165 mm × 20 mm

➨ 技术参数
5速度范围
默认
.HV & .UHV 版本
5 mm/s ~ 200 mm/s
5 mm/s ~ 20 mm/s
6驱动力
2 N
3 N
4 N
7保持力
3 N
4 N
5 N
8最大负载
水平方向使用
竖直方向使用
2 kg
100 g
3 kg

150 g

5 kg
N/A
9双向重复定位精度
± 250 nm
± 250 nm
± 250 nm
10全行程俯仰/偏摆
0.3 mrad
0.3 mrad
0.2 mrad
11最小步伐
开环
50 nm
50 nm
50 nm
12位置传感器
种类
分辨率
光学位置传感器
2 nm
➨ 安装 & 使用
13可用孔位
LS50x.Speed
台面·定位销
4 pcs – Φ 2.5
40 mm × 40 mm

底座·定位销
4 pcs – Φ 2.5
40 mm × 40 mm

LS65x.Speed
台面·定位销
4 pcs – Φ 2.5
40 mm × 50 mm

底座·定位销
4 pcs – Φ 2.5
50 mm × 40 mm

LS105x.Speed
台面·定位销
4 pcs – Φ 4.0
75 mm × 75 mm

底座·定位销
4 pcs – Φ 4.0
75 mm × 75 mm

LS50x.Speed
台面·用户螺纹孔
4 pcs – M2.5 × 3.5
20 mm × 20 mm
4 pcs – M2.5 × 3.5
30 mm × 45 mm
4 pcs – M2.5 × 3.5
45 mm × 45 mm

底座·安装孔
4 pcs – Φ 2.9
45 mm × 30 mm

LS65x.Speed
台面·用户螺纹孔
4 pcs – M3 × 4
25 mm × 50 mm
4 pcs – M3 × 4
55 mm × 55 mm

底座·安装孔
4 pcs – Φ 3.2
50 mm × 25 mm

LS105x.Speed
台面·用户螺纹孔
4 pcs – M3 × 5
25 mm × 50 mm
4 pcs – M3 × 5
55 mm × 55 mm
4 pcs – M4 × 5
50 mm × 95 mm
4 pcs – M4 × 5
95 mm × 95 mm

底座·安装孔
4 pcs – Φ 4.3
95 mm × 50 mm

14线缆 & 接头
默认
.UHV 版本
屏蔽线缆,
D-Sub15

Kapton 漆包线,
D-Sub15 (PEEK)

15控制器规格
MC-Doppler 系列

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