• 55 mm × 55 mm × 17 mm, 70 mm × 70 mm × 17 mm,
X 方向运动
• 100/200/300/500 μm 多行程可选
• 电容传感闭环控制, 最高分辨率 0.5 nm
• 优于 5 nm 重复定位精度
• 完全无磁, 超高真空等特殊版本可选

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• 55 mm × 55 mm × 28 mm, 70 mm × 70 mm × 40 mm,
XY 双自由度运动
• 100/200/300/500 μm 多行程可选
• 电容传感闭环控制, 最高分辨率 0.5 nm
• 优于 5 nm 重复定位精度
• 完全无磁, 超高真空等特殊版本可选

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• 55 mm × 55 mm × 42 mm, XYZ 三自由度运动
• 100/200/300 μm 多行程可选
• 电容传感闭环控制, 最高分辨率 1 nm
• 优于 5 nm 重复定位精度
• 完全无磁, 超高真空等特殊版本可选

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